原子發(fā)射光譜儀由光源、單色器、檢測器和獨處器件這幾部分組成。

　　利用物質(zhì)在熱激發(fā)或電激發(fā)下，每種元素的原子或離子發(fā)射特征光譜來判斷物質(zhì)的組成，而進(jìn)行元素的定性與定量分析的。

　　原子發(fā)射光譜法可對約70種元素（金屬元素及磷、硅、砷、碳、硼等非金屬元素）進(jìn)行分析。在一般情況下，用于1%以下含量的組份測定，檢出限可達(dá)ppm，精密度為±10%左右，線性范圍約2個數(shù)量級。這種方法可有效地用于測量高、中、低含量的元素。

　　原子發(fā)射光譜法包括了三個主要的過程，即：

　　1、由光源提供能量使樣品蒸發(fā)、形成氣態(tài)原子、并進(jìn)一步使氣態(tài)原子激發(fā)而產(chǎn)生光輻射；

　　2、將光源發(fā)出的復(fù)合光經(jīng)單色器分解成按波長順序排列的譜線，形成光譜；

　　3、用檢測器檢測光譜中譜線的波長和強度。

　　由于待測元素原子的能級結(jié)構(gòu)不同，因此發(fā)射譜線的特征不同，據(jù)此可對樣品進(jìn)行定性分析；而根據(jù)待測元素原子的濃度不同，因此發(fā)射強度不同，可實現(xiàn)元素的定量測定。

　　原子發(fā)射光譜是指由于物質(zhì)內(nèi)部運動的原子和分子受到外界能量后發(fā)生變化而得到的。